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CVD气相沉积炉

CVD气相沉积炉

来源:http://www.ejderkapani.com/product610331.html

时间:2020-8-18 16:09:40

相关标签:硅碳负极专用设备,CVD气相沉积炉,

产品详情

CVD气相沉积炉为立式真空感应加热炉,它由炉体、炉盖、真空系统、电气系统、加气系统、和水冷系统等部分组成。炉身采用水冷夹层结构。炉内装有感应线圈,发热体也是石墨材料制成石墨坩埚。发热体外围是由碳毡组成的保温装置和由刚玉组成的隔热绝缘装置。测温元件采用热电偶,半自动/手动控制炉温,采用智能型温度表控温。

CVD气相沉积炉技术特征:

CVD气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足大型工件化学气相沉积处理需求;

CVD气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;

CVD气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

CVD气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;

CVD气相沉积炉能有效处理生产过程中产生的各种规格杂质。


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