咸阳陶瓷研究设计院有限公司为您主要提供磷酸铁锂煅烧炉,硅碳负极包覆设备,回转炉等相关的展示和信息更新,欢迎您的收藏。
锂电池专用设备科研制造隶属于中国建筑材料集团公司
全国咨询热线:13992091608
联系我们
13992091608

联系人:贾军

邮箱:source@sinokiln.com

电话:029-33579267

地址:陕西省咸阳市秦都区玉泉西路210号

新闻详情

气相沉积炉使用方法

时间:2021-11-2 10:15:00 来源:http://www.ejderkapani.com/news710836.html

化学气相沉是传统的制备薄膜的技术,它的原理就是利用气态的先驱反应物,通过原子、分子间的化学反应,在晶片上形成薄膜。气相沉积能够生产出具备高质量高纯度以及高强度等优点的材料,因此在半导体行业很受欢迎。

气相沉积炉的罩体和盖板它们连接一体轴,气相沉积炉的侧壁上设置电极设置于罩体内部,罩体内壁对应的导电板和盖板以及驱动让其饶轴转动,盖板密封的罩体的开口和罩体形成一个密封体,盖板使罩体的开口保持着开状可相对罩体翻转,极大的方便进行上下料作业,不需要采用微波发生器作为能量来源,有利于降低成本,盖板可以自动打开和关闭,效率高,易于操作。


相关产品/ RELATED PRODUCTS

相关产品/ RELATED PRODUCTS
亚洲 欧洲 日韩 综合AV