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气相沉积炉的技术特征

时间:2020-12-3 9:44:00 来源:http://www.ejderkapani.com/news513667.html

气相沉积炉是我公司多年研发生产的设备,气相沉积炉是指在高温下的气相反应,例如,金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解,氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法。这种技术较初是作为涂层的手段而开发的,但目前,不只应用于耐热物质的涂层,而且应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等,是一个颇具特征的技术领域。

咸阳陶瓷研究院销售的气相沉积炉其技术特征在于:(1)高熔点物质能够在低温下合成;(2)析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种;(3)不仅可以在基片上进行涂层,而且可以在粉体表面涂层等。特别是在低温下可以合成高熔点物质,CVD气相沉积炉在节能方面做出了贡献,作为一种新技术是大有前途的。


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